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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Untersuchung eine Schüttgutprozesses zur Abscheidung von Me-C:H PVD-Schichten auf Kleinbauteilen
 
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1995
Diploma Thesis
Title

Untersuchung eine Schüttgutprozesses zur Abscheidung von Me-C:H PVD-Schichten auf Kleinbauteilen

Thesis Note
Braunschweig, TU, Dipl.-Arb., 1995
Author(s)
Bierner, S.
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
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