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Konferenzschrift
Abscheiden von Silizidschichten mittels Arc-Verdampfung
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2001
Conference Paper
Title
Abscheiden von Silizidschichten mittels Arc-Verdampfung
Author(s)
Kolbe, M.
Wolf, R.
Kunat, F.
Grimm, W.
Wielage, B.
Steinhäuser, S.
Reisel, S.
Mainwork
Tagungsband zur 4. Industriefachtagung "Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik" und zum 4. Werkstofftechnischen Kolloquium in Chemnitz
Conference
Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik (OWT) 2001
Werkstofftechnisches Kolloquium 2001
Language
German
Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik IWU
