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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Standardisierungslösungen für ein modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik
 
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1999
Journal Article
Title

Standardisierungslösungen für ein modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik

Other Title
Standardising solutions for a modular manufacturing system in micro technology
Abstract
Die Mikrotechnik ist eine Schlüsseltechnologie mit sehr großem Innovationspotential. Da derzeit noch große Defizite bei der Gerätetechnik bestehen, wurde im Rahmen des industriellen BMBF-Verbundprojekts PROZESS 2000 ein modulares Fertigungssystem für die Mikrotechnik entwickelt und realisiert. Standardisierungslösungen für die Hardware- und Softwareschnittstellen eines solchen Systems bilden die Grundlage zukünftiger Forschungs- und Entwicklungsarbeiten für die Produktion von Komponenten und Systemen in der Mikrotechnik.
Author(s)
Bader, U.
Schließer, J.
Hägele, K.-D.
Weinmann, A.
Journal
VTE  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • cluster tool

  • Standardisierung

  • Mikrosystemtechnik

  • PROZESS 2000

  • automated manufacturing

  • cleanroom

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  • interface

  • manufacturing

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  • Schnittstelle

  • Mikrotechnik

  • software

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  • Automatisierung

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