Hochempfindliche Dünnschichtsensoren basierend auf Terahertz-Wellenleitern

Terahertz Zeitbereichs-Spektroskopie ist in der Lage, durch Laufzeitanalyse dünne dielektrische Schichten aufzulösen. Durch die neue Messanordnung eines Zwei-Zylinder Wellenleiters konnte die Empfindlichkeit um den Faktor 150 auf bis zu 2,5 Mikrometer gesteigert werden. Eine Fehlerabschätzung lässt sogar eine sub-Mikrometer Auflösung erwarten. Selbst auf metallischen Folien ist dadurch die Dicke von dünnsten dielektrischen Schichten präzise zu bestimmen.