1999
Anthology
Title

MST 2000+

Title Supplement
Mikrosystemtechnik des 21. Jahrhunderts
Person Involved
Ehret, P.
Pelka, J.
Reichl, H.
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
Corporate Author
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. -FhG-, München
Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik
Publishing Place
München
Language
German
Keyword(s)