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Entwicklung neuartiger, durch Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung herstellbarer Schichtverbunde und deren Eigenschaften
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1996
Report
Title
Entwicklung neuartiger, durch Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung herstellbarer Schichtverbunde und deren Eigenschaften
Author(s)
Metzner, C.
Schuhmacher, B.
Ehlers, K.D.
Steinhoff, H.
Dürr, W.
Floßdorf, F.-J.
Corporate Author
Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie -BMBF-, Bonn
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik -FEP-, Dresden
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP