1992
Conference Paper
Title

Compositional analysis of MBE pseudomorphic InGaAs/AlGaAs/GaAs structures by determination of film thickness with SIMS

Other Title
Analyse der Zusammensetzung MBE gewachsener pseudomorpher InGaAs/AlGaAs/GaAs-Strukturen durch Bestimmung der Schichtdicken mit der SIMS
Author(s)
Höpner, A.
As, D.J.
Köhler, Klaus  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Maier, M.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Mainwork
Conference
Language
English
Keyword(s)