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Mikromechanische Bauteile hergestellt durch UV-Lithographie und Mikrogalvanik
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1997
Journal Article
Title
Mikromechanische Bauteile hergestellt durch UV-Lithographie und Mikrogalvanik
Author(s)
Löchel, B.
John, L.-G.
Journal
VTE
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT