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Abschlussarbeit
Integration von piezoelektrischen Dünnschichten in einen MEMS kompatiblen Prozessablauf auf Waferebene
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2007
Doctoral Thesis
Title
Integration von piezoelektrischen Dünnschichten in einen MEMS kompatiblen Prozessablauf auf Waferebene
Thesis Note
Kiel, Univ., Diss., 2007
Author(s)
Jacobsen, H.
Publishing Place
Kiel
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT