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Konferenzschrift
Parametric variational finite element method for MEMS electrostatic problems
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2004
Conference Paper
Title
Parametric variational finite element method for MEMS electrostatic problems
Author(s)
Shaporin, Alexey
Kolchuzhin, V.
Mehner, J.
Dötzel, W.
Mainwork
10. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2004. Tagungsband
Conference
Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2004
Language
English
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
