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  4. Mikrosystemtechnisch hergestellte Fabry-Pérot-Interferenzdisplays mit hydrophobisierten Bildpunktmembranen
 
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2007
Doctoral Thesis
Title

Mikrosystemtechnisch hergestellte Fabry-Pérot-Interferenzdisplays mit hydrophobisierten Bildpunktmembranen

Thesis Note
Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2007
Author(s)
Knieling, T.
Publisher
Shaker  
Publishing Place
Aachen
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Keyword(s)
  • Display

  • Interferenzfilter

  • Mikrooptik

  • MEMS

  • Pixel

  • Ansteuerung

  • technische Membran

  • Silicium

  • Monoschicht

  • Hydrophobierung

  • LPCVD-Verfahren

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