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Piezoresistive Dünnschichtsensorik auf Basis amorpher Kohlenwasserstoffschichten und ihr Anwendungspotenzial
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2010
Book Article
Title
Piezoresistive Dünnschichtsensorik auf Basis amorpher Kohlenwasserstoffschichten und ihr Anwendungspotenzial
Author(s)
Biehl, S.
Mainwork
Jahrbuch Oberflächentechnik. Bd.66
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
