Bestimmung der Messunsicherheit im Mikrometer-Bereich - Strategien, Modelle und Einflussfaktoren

Die Entwicklung von neuen Mess- und Prüfstrategien erfordert eine Bewertung der Messunsicherheit dieser Strategien, um die Aussagekraft der Messwerte quantifizieren und darauf basierend Entscheidungen ableiten zu können. Dies gilt insbesondere für den Einsatz der Strategien bei der Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen. In diesen Größenordnungen gibt es bislang nur wenige Beispiele für Handlungsanweisungen, um die Messunsicherheit zu bestimmen. Anhand verschiedener praktischer Beispiele wird dargestellt, wie eine aufgabenangepasste Bestimmung der Messunsicherheit erfolgen kann.