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1998
Conference Paper
Title
Partikelmessung in Reinstmedien
Other Title
Particle Measurement in Clean Media
Abstract
Zur Partikelmessung in Reinstmedien werden optische Partikelzähler eingesetzt. Die Präzision der Messung ist abhängig von der Probenahmetechnik und der Kalibrierung. Die verfügbaren optischen Partikelzähler unterscheiden sich in ihren technischen Merkmalen Anwendungsmöglichkeiten und Probenahmetechniken.