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Konferenzschrift
Polierbare Siliziumschichten zur Herstellung ultra-präziser optischer Komponenten
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2012
Conference Paper
Title
Polierbare Siliziumschichten zur Herstellung ultra-präziser optischer Komponenten
Author(s)
Jobst, Paul Johannes
Schürmann, Mark
Gebhardt, Andreas
Risse, Stefan
Kaiser, Norbert
Mainwork
Thementage Grenz- und Oberflächentechnik, ThGOT 2012 und 3. Optik-Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik"
Conference
Thementage Grenz- und Oberflächentechnik (ThGOT) 2012
Optik-Kolloquium Dünne Schichten in der Optik 2012
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
