Cleanroom suitability of materials and equipments

For the assessment of the Cleanroom and Cleanliness Suitability of materials for their use in cleanliness sensitive environments the particle emission, the VOC spectrum and as well the cleanability of surfaces have to be determined. The presentation gives an overview about possible methodologies, measurement strategies, assessment techniques and algorithms. To illustrate the topic examples from different industrie branches will be shown.

Zur Bestimmung des Reinraum- und Reinheitstauglichkeitesverhaltens von Werkstoffen für sauberkeitskritische Produktionsumgebungen müssen das Partikelemissionsverhalten, das VOC-Spektrum als auch die Reinigbarkeit von Oberflächen bestimmt werden. Der Vortrag gibt einen Abriss über mögliche Vorgehenweisen, Messstrategien, Bewertungstechniken und -algorithmen. Zur Veranschaulichung werden Beispiele aus unterschiedlichen Anwendungsszenarien herangezogen.