Mikroelektronik und Reinraumtechnik

In diesem Beitrag wird der Einfluss der Reinraumtechnik auf die Ausbeute bei der Fertigung von Halbleiterbauelementen besprochen, und die Anforderungen an die Reinraumtechnik aus der Sicht der Halbleitertechnologie werden behandelt. Im weiteren werden moegliche Konzepte fuer zukuenftige Entwicklungen mit noch strikteren Anforderungen an die Qualitaet der Reinheit der Arbeitsplaetze diskutiert, da hoehere Partikelfreiheit fuer die naechste Generation integrierter Schaltungen (Ultra Large Scale Integration (ULSI) eine unumgaengliche Voraussetzung sein wird.