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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Mikrodispensen schafft starke Verbindungen
 
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2007
Journal Article
Title

Mikrodispensen schafft starke Verbindungen

Title Supplement
Systemtechnik für prozesssicheres Mikrodispensen
Abstract
Für die Erzeugung definierter funktionaler Mikrostrukturen steht mit dem Mikrodispensen ein vielversprechendes Auftragsverfahren zur Verfügung. Für die industrielle Anwendung wird jedoch nicht nur eine leistungsfähige und zuverlässige Systemtechnik benötigt. Beim Mikrodispensen liegt die besondere Schwierigkeit darin, dass eine Vielzahl von Einflussparametern prozesssicher zu beherrschen ist.
Author(s)
Schlenker, Dirk  
Othman, Nabih  
Journal
Mikroproduktion  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Mikrosystemtechnik

  • Mikrodispensen

  • micro-dispensing

  • Mikrostruktur

  • Prozeßüberwachung

  • Prozeßregelung

  • Schutzschicht

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