Übersicht über Verfahren der optischen Rauheitsmessung

Der steigende Bedarf der Oberflächenmeßtechnik an Verfahren mit der Möglichkeit schneller Meßwerterfassung (100 %-Kontrolle), flächenhafter Prüfung (evtl. mit Defekterkennung) und leichter Automatisierbarkeit einerseits, spezielle Meßprobleme an extrem glatten sowie weichen Oberflächen andererseits beschleunigten die Entwicklung industriell einsetzbarer optischer Rauheitsmeßverfahren innerhalb der letzten Jahre. Im folgenden werden die ihnen zugrunde liegenden Prinzipien anhand jeweils eines kommerziellen Gerätes dargestellt. (IPM)