Excimer laser in material processing

Das Einsatzpotential von Excimer-Laser zum Trennen von keramischen Werkstoffen und faserverstärkten Kunststoffen wird aufgezeigt. Insbesondere die Bearbeitungsqualität ist im Vergleich zum CO2-Laser wesentlich besser. Nachteilig wirkt sich die geringe mittlere Laserleistung von Excimer-Lasern aus. Die Abtragrate liegt bei ca. 1 um/Puls, wobei kommerzielle Systeme Pulsraten bis ca. 500 Hz erreichen.