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Abschlussarbeit
Untersuchung einer CMOS-Technologie auf SIMOX-Substraten für Anwendungen in der Hochtemperaturelektronik
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1996
Doctoral Thesis
Title
Untersuchung einer CMOS-Technologie auf SIMOX-Substraten für Anwendungen in der Hochtemperaturelektronik
Thesis Note
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1996
Author(s)
Werner, Ralph
Publisher
Shaker
Publishing Place
Aachen
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Keyword(s)
Hochtemperaturtechnik
Mikrosystemtechnik
MOR-Transistor
silicon-on-insulator
SIMOX-Technologie