Bilderzeugung und Bildverarbeitung in der Akustischen Rastermikroskopie

Zwei Mikroskopprototypen, die sich in der Art der Abbildung grundsätzlich unterscheiden, gewannen in der Praxis besondere Bedeutung: das Scanning Laser Acoustic Microscope (SLAM) und das akustische Reflexionsrastermikroskop (SAM). Das SLAM benutzt zum Abbilden ebene Ultaschallwellen, mit denen die Probe durchschallt wird. Innere Problemstrukturen modifizieren das Schallfeld durch Streuung und Absorption gemäß ihrer elastischen und geometrischen Eigenschaften. Mit dem SAM können, aufgrund seiner hohen Anregungsfrequenz von 100 MHz bis 2 GHz, die elastischen Eigenschaften von Materialien mit hoher lokaler Auflösung ermittelt werden. Da die Dämpfung der Ultraschallwellen mit steigender Frequenz im Material zunimmt, ist der vom SAM erfaßbare Bereich auf die oberflächennahen Gebiete beschränkt. Als Anwendungsbeispiel werden vorgestellt: V(z)-Kurven Darstellung von elastischen Eigenschaften, sowie deren Potential bei Spannungsanalysen. Charaktersierung von Grenzflächen und Schichtdickenbesti mmung, die Korngrößenbestimmung durch spektrale Auswertung eines Liniescans des SAM's über ein Gefüge. Daneben wird anhand von mit dem SLAM erzeugten Bildern von Fehlern in Hochleistungskeramik die holographische Rückenpropagation zur Rekonstruktion der Fehler vorgestellt.