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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Wasserstofffreie amorphe Kohlenstoffschichten - abgeschieden durch plasmaaktivierte Hochratebedampfung
 
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2007
Journal Article
Title

Wasserstofffreie amorphe Kohlenstoffschichten - abgeschieden durch plasmaaktivierte Hochratebedampfung

Other Title
Hydrogen free amorphous carbon coatings - deposited with plasma-activated high-rate evaporation
Author(s)
Heinß, J.-P.
Journal
Vakuum in Forschung und Praxis  
DOI
10.1002/vipr.200700328
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Keyword(s)
  • Schichtcharakterisierung

  • plasmaaktivierte Hochrate-Bedampfung

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