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Abschlussarbeit
Neon Ultra-Feinlecktest zur Vorhersage der Vakuumerhaltung resonanter Mikrosensoren
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2006
Doctoral Thesis
Title
Neon Ultra-Feinlecktest zur Vorhersage der Vakuumerhaltung resonanter Mikrosensoren
Thesis Note
Kiel, Univ., Diss., 2007
Author(s)
Reinert, W.
Publishing Place
Kiel
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT