Unterstützung des Mikrosystementwurfs durch Simulatorkopplung

Der Entwurf von Mikrosystemen stellt aufgrund der Kompliziertheit, der Miniaturisierung sowie der Komplexität der betrachteten Systeme einen zeit- und kostenintensiven Prozeß dar. Eine wesentliche Unterstützung des Mikrosystementwurfes kann durch die Simulation einzelner Systemkomponenten oder auch der Gesamtheit eines Systems erfolgen. Im Beitrag wird die Simulatorkopplung als Mittel zur Systemsimulation vorgestellt. Nach einleitenden Betrachtungen zur Modellbildung für die Mikrosystemtechnik wird ein Beispielsystem vorgestellt, an dem der mathematische Hintergrund der Simulatorkopplung erläutert und die Realisierung mit dem Schaltkreis- und Systemsimulator KOSIM und dem Finite-Elemente-Programm ANSYS beschrieben werden soll. In einem Ausblick werden weiterführende Arbeiten vorgestellt.