Options
1993
Conference Paper
Title
Intelligente Sensorsysteme auf Siliziumbasis
Abstract
Sensorsysteme auf Siliziumbasis befinden sich in einem unterschiedlichen Entwicklungsstadium. Mikrosysteme, die rein auf mikroelektronischen Komponenten basieren, werden schon jetzt industriell eingesetzt. Systeme mit Sensor- oder Aktorkomponenten, hybrid oder monolithisch integriert, stehen unmittelbar vor der Produkteinführung. Dieser Beitrag möchte an verschiedenen Beispielen Sensorsysteme für unterschiedliche Anwendungen vorstellen.