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Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
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  3. Artikel
  4. Strukturierungsverfahren
 
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2018
Book Article
Title

Strukturierungsverfahren

Author(s)
Fader, Robert
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Lorenz, Jürgen  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Baum, Mario  
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS  
Danylyuk, Serhiy  
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT  
Gillner, Arnold  
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT  
Stollenwerk, Jochen  
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT  
Bläsi, Benedikt  
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE  
Mainwork
Angewandte Nanotechnologie. Beispiele aus der Fraunhofer-Allianz Nanotechnologie  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT  
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE  
Keyword(s)

  • Nanotechnologie

  • EUV

  • Laser

  • Laserstrukturierung

  • Laser-Interferenzlithographie

  • Nanoimprint-Lithographie

  • UV-SCIL

  • FIB

  • fokussierter Ionenstrahl

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