Haftungsaspekte bei kombinierten Beschichtungsverfahren

Bei kombinierten Beschichtungsverfahren ist die Wahl des geeigneten Schichtaufbaus von großer Bedeutung. Durch Plasmabehandlung der Kunststoffsubstrate in Ätzgasgemischen mit einem hohen Sauerstoffgehalt (> 75%) kann die Haftfestigkeit der abgeschiedenen PVD-Metallschichten deutlich gesteigert werden. Bei PVD-Chromschichten werden generell höhere Haftfestigkeiten ermittelt als bei PVD-Kupferschichten. In den Versuchen hat sich gezeigt, daß sich dünne PVD-Kupferschichten nicht für eine galvanische Verstärkung eignen. Die ursprünglich hohe Haftfestigkeit der reinen PVD-Kupferschicht sinkt beim Verstärken soweit ab, daß die Schicht nur noch eine geringe Haftung aufweist, bzw. sich selbst vom Substrat löst. Durch das Abscheiden von Chrom/Kupfer-Mehrschichtsystemen können die gute Haftung der Chromschicht und die gute galvanische Verstärkbarkeit der Kupferschicht kombiniert werden. Dies wirkt sich insbesondere in einer gesteigerten Haftfestigkeit des Schichtverbundes aus.