Entwurf von Mikrosystemen

Die Mikrosystemtechnik nimmt eine entscheidende Rolle als Schlüsseltechnologie der kommenden Jahren ein. Im Beitrag werden Probleme und Aspekte des Entwurfes von Mikrosystemen vorgestellt und der Stand der Entwicklung bei der Rechnerunterstützung dargelegt. Systemsimulationen sind ein wichtiger Bestandteil des computergestützten Entwurfes. Möglichkeiten ihrer Realisierung in der Mikrosystemtechnik werden an Beispielen aufgezeigt und Aspekte der Modellbildung näher erläutert.