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Konferenzschrift
Sensorische Dünnschichtsysteme auf Basis piezoresistiver Kohlenstoffschichten
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2011
Conference Paper
Title
Sensorische Dünnschichtsysteme auf Basis piezoresistiver Kohlenstoffschichten
Author(s)
Biehl, S.
Mainwork
Amorphe Kohlenstoffschichten - tribologische Anwendungen und industrielle Herstellungsverfahren
Conference
Workshop Amorphe Kohlenstoffschichten 2011
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
