Fabsimulation zur Fertigungssteuerung

Die Abbildung einer bestehenden Fertigungslinie mit einem Simulationstool stellt eine wichtige Voraussetzung dar, um die Performance einer Waferfertigung in Abhängigkeit von wichtigen Parametern beurteilen und optimieren zu können. Insbesondere das Scheduling von Produktionsaufträgen beinhaltet große Optimierungspotentiale einer bestehenden Halbleiterfertigung. Das operative Verhalten einer Waferfab läßt sich mittels Simulationstechnik auf Basis von Einlastungsdaten näherungsweise bestimmen. In diesem Beitrag soll ein Abriß über die Vorgehensweise der Entwicklung eines Simulationsmodells zur Optimierung einer bestehenden Halbleiterfertigung gegeben werden.