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Materialbearbeitung mittels fokussierter Ionenstrahlen zur TEM-Probenpräparation und Nanostrukturierung
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2003
Journal Article
Title
Materialbearbeitung mittels fokussierter Ionenstrahlen zur TEM-Probenpräparation und Nanostrukturierung
Author(s)
Frey, L.
Lehrer, C.
Journal
Praktische Metallographie
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
