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Konferenzschrift
Zuverlässigkeitsuntersuchungen an AlN-Verbunden, angewendet auf die Mikrosystem-Modultechniken
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1995
Conference Paper
Title
Zuverlässigkeitsuntersuchungen an AlN-Verbunden, angewendet auf die Mikrosystem-Modultechniken
Other Title
Investigations of reliability at AIN-joints used at microsystem-modultechniques
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Author(s)
Auerswald, E.
Dudek, R.
Faust, W.
Kämpfe, B.
Mainwork
Micro Materials, Micro Mat 1995. Proceedings
Conference
Conference Micro Materials (Micro Mat) 1995
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM