Mikro- und Nanotechnologien zur Herstellung steuerbarer optischer Filter

Der Beitrag berichtet über Ergebnisse der Technologieentwicklung für steuerbare mikrooptische Komponenten wie z.B. durchstimmbare Fabry-Pérot-Interferometer (FPI), welche an der TU Chemnitz gemeinsam mit dem Fraunhofer ENAS und Industriepartnern entwickelt werden. Wellenlänge bzw. Intensität des transmittierenden Lichtes werden dabei durch Nutzung des elektrostatischen Wandlerprinzips beeinflusst. Durch Technologieoptimierung sowie ein kompaktes Design unserer MOEMS-Filter konnten die Abmessungen der Chips von 7x7 mm2 auf nur 5x5 mm2 reduziert werden, ohne die optische Performance einzuschränken. Die Filter mit Arbeitsbereichen im NIR und MIR finden ihre Anwendung z.B. in der Analyse von Gasen, welche charakteristische Absorptionen bei bestimmten Wellenlängen aufweisen. Weiterführende Arbeiten sind auf alternative Schichtsysteme für die optisch aktiven Reflektoren, wie z.B. poly-Si-Luft-Reflektorsysteme bzw. nanostrukturierte Oberflächen auf Membranen mit Reflektivitäten > 95%, und auf die Erweiterung des Messbereiches bis in den VIS-Bereich gerichtet. Es werden erste Ergebnisse der Integration dieser Reflektoren in FPI vorgestellt.