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1990
Conference Paper
Title
Partikelmessungen auf Oberflächen
Abstract
In diesem Artikel wird eine Übersicht über die Messverfahren zur Messung von Sub-um-Partikeln auf allen Arten von Oberflächen gegeben. Es werden Streulichtmessverfahren, Lichtmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie und automatisierte Messverfahren beschrieben.