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Konferenzschrift
Magnetron-Sputtering
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2003
Conference Paper
Titel
Magnetron-Sputtering
Author(s)
Bräuer, G.
Hauptwerk
Herstellung dünner Schichten
Konferenz
Fachforum "Herstellung Dünner Schichten" 2003
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
