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Fraunhofer-Gesellschaft
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2003
Conference Paper
Titel

Magnetron-Sputtering

Author(s)
Bräuer, G.
Hauptwerk
Herstellung dĂ¼nner Schichten
Konferenz
Fachforum "Herstellung DĂ¼nner Schichten" 2003
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Language
German
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Fraunhofer-Institut fĂ¼r Schicht- und Oberflächentechnik IST
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