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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Dotierung von SIC durch Ionenimplantation
 
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1995
Diploma Thesis
Titel

Dotierung von SIC durch Ionenimplantation

ThesisNote
Erlangen-Nürnberg, Univ., Dipl.-Arb., 1995
Author(s)
Hassa, O.
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Language
German
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