The capacative coupling error and the capacitive coupling cross talk in electron beam testing of passivated IC and measures for their reduction
Abstract
Zur Fehleranalyse in passivierten integrierten Schaltungen wird in zunehmendem Maße der Elektronenstrahltest mittels kapazitiven Potentialkontrastes eingesetzt. Zwei der wichtigsten hierbei auftretenden Fehler, der kapazitive Kopplungsfehler und das kapazitive Übersprechen, sowie Maßnahmen zur Reduktion dieser Fehler werden diskutiert. Im Besonderen wird auf ein Verfahren zur Fehlerkorrektur bei passivierten Schaltungen näher eingegangen, zu dem erstmalig Messergebnisse vorgelegt werden können. Weiterhin wird die Anwendbarkeit dieses Verfahrens in der Praxis untersucht.
