Parallele passive Justage in der automatisierten Mikromontage

Mikrokomponenten sind in einer Vielzahl von Geometrien in Größenordnungen von 1 mm bis 0.01 mm erhältlich. Ihre Massenproduktion ist heutzutage zum Standard in der Produktionstechnologie geworden. Durch aufwändige Extrusions- und Polierverfahren sind zum Beispiel Mikrokugeln in Losgrößen bis zu einigen Tausend mit submikrometer Genauigkeit erhältlich . Weitaus höhere Stückzahlen werden in Mikrokugelverfahren hergestellt, die auf der Aushärtung mikrodosierter Tropfen basieren, wobei jedoch die Durchmesser in einer Losgröße um bis zu 10% variieren können. In der Regel werden die Mikrokugeln nach ihrer Herstellung in losen Mengen in Plastiktütchen oder kleinen Dosen zur Aufbewahrung und zum Transport verpackt. Das Vereinzeln sowie die Handhabung der so verpackten Mikrokomponenten wird in der Regel durch dominierende Adhäsionskräfte erschwert, wodurch das Sortieren und Ausrichten einzelner Mikrokomponenten noch immer manuelle Arbeitschritte als Vorbereitung für die automatisierte Mikromontage erfordert. Daher bedarf es Sortier- und Justagemechanismen zur Anordnung loser Mikrobauteile in definierter Position, die somit eine durchgängig automatisierte Prozesskette von der Herstellung der einzelnen Mikrokomponenten bis hin zum endmontierten Mikrosystem ermöglichen.