Verfahrensgrundlagen der Laser-Arc-Verdampfung als Hochrate-Beschichtungsverfahren
Alternative
Fundamental studies of the laser-arc-evaporation for the development of a highrate deposition method
Abstract
Der Laser-Arc ist eine laserinduzierte Bogenverdampferquelle für plasmagestützte Schichtabscheidung, deren Vorteil in der Steuerbarkeit der Entladung und gezielten Materialerosion besteht, so daß auch Schichtsysteme präzise, reproduzierbar und mit hoher Rate hergestellt werden können. Neben vertiefenden Untersuchungen zu Prozeßparametern wurde mit der baulichen Realisierung und technologischen Entwicklung begonnen, um die Eignung dieser Methode zur Hochratebeschichtung zu demonstrieren.
