2016
Doctoral Thesis
Title

Simulation und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen elektrostatischen Aktors

Thesis Note
Cottbus-Senftenberg, TU, Diss., 2016
Author(s)
Kaiser, Bert  
Advisor(s)
Schenk, Harald  
Bestehorn, Michael
Kupnik, Mario
Publishing Place
Cottbus-Senftenberg
Language
German