2016
Doctoral Thesis
Titel

Simulation und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen elektrostatischen Aktors
ThesisNote
Cottbus-Senftenberg, TU, Diss., 2016
Author(s)
Kaiser, Bert
Advisor
Schenk, Harald
Bestehorn, Michael
Kupnik, Mario
Verlagsort
Cottbus-Senftenberg
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Language
German