Multiskalige Messstrategien für Mikrosysteme

Eine multiskalige Mess- und Prüfstrategie wird für mikrosystemtechnische Mess- und Prüfaufgaben entwickelt. Die Strategie kombiniert Messverfahren unterschiedlicher Auflösungsstufe für die Erfassung, Charakterisierung und Prüfung von geometrischen und nicht-geometrischen funktionsrelevanten Kenngrößen. Der Mess- und Prüfablauf wird dynamisch gesteuert, so dass aufwendige Messverfahren lediglich auf kritischen Bereichen angewendet werden. Der Übergang von grob- zu feinskaligen Messverfahren wird durch Indikatorfunktionen unterstützt, die Hinweise auf mögliche Fehlstellen liefern. Ein Versuchsaufbau wurde erstellt, um die Strategie anhand des Andwendungsbeispiels Kontaminationskontrolle umzusetzen.