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Magnetschleifen von Siliziumwafern - ein neuer Ansatz
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2005
Journal Article
Title
Magnetschleifen von Siliziumwafern - ein neuer Ansatz
Author(s)
Khomich, Mikalai
Alexeev, Y.
Demmer, Axel
Pähler, Dietmar
Dambon, Olaf
Schneider, U.
Journal
Industriediamantenrundschau : IDR
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT