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Carbon thin films
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1986
Book Article
Titel
Carbon thin films
Author(s)
Angus, J.C.
Domitz, S.
Koidl, P.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Hauptwerk
Plasma Deposited Thin Films. Chapter 4
Language
English
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Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Tags
amorpher Kohlenstoff
Dünnschicht
