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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Den Gigachip im Visier
 
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1990
Journal Article
Titel

Den Gigachip im Visier

Abstract
Die diesjährige Step-Europe-Konferenz, die am 11. und 12. Oktober in Brüssel stattfand, präsentierte die neuesten Trends und Entwicklungen für Reinraumtechnik in der Halbleiterfertigung. Um die hohen Zielsetzungen für Fertigungsanforderungen hinsichtlich des 64-Mbit-Chips und der künftigen Giga-Chip-Produktion zu erfüllen, ist eine effektive Koordination, so zum Beispiel im Bereich der Standardisierung der Schnittstellen, erforderlich.
Author(s)
Dorner, J.
Geißinger, J.
Zeitschrift
Elektronik
Konferenz
Step Europe Conference 1990
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Language
German
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Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA
Tags
  • chip

  • Fertigung

  • Reinraumtechnik

  • Schnittstelle

  • semiconductor

  • Ultra-clean-manufacturing

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