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1990
Journal Article
Titel
Den Gigachip im Visier
Abstract
Die diesjährige Step-Europe-Konferenz, die am 11. und 12. Oktober in Brüssel stattfand, präsentierte die neuesten Trends und Entwicklungen für Reinraumtechnik in der Halbleiterfertigung. Um die hohen Zielsetzungen für Fertigungsanforderungen hinsichtlich des 64-Mbit-Chips und der künftigen Giga-Chip-Produktion zu erfüllen, ist eine effektive Koordination, so zum Beispiel im Bereich der Standardisierung der Schnittstellen, erforderlich.
Konferenz