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Puls Plasma
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1997
Book Article
Title
Puls Plasma
Title Supplement
Eine neue Ära der PVD-Technik
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Author(s)
Schiller, S.
Kirchhoff, V.
Goedicke, K.
Schiller, N.
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Jahresbericht 1996
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Keyword(s)
Puls Plasma
PVD
