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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Besonderheiten der metallographischen Präparation von Aufbauten der Elektronik und Mikroelektronik
 
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1999
Journal Article
Title

Besonderheiten der metallographischen Präparation von Aufbauten der Elektronik und Mikroelektronik

Author(s)
Reiter, K.
Reiter, M.
Ahrens, T.
Journal
Structure 24. Struers Zeitschrift für Materialographie  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
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