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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Einsatz einer Netzhohlkatodenquelle zur Abscheidung ultradünner Kohlenstoffschichten
 
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2001
Diploma Thesis
Title

Einsatz einer Netzhohlkatodenquelle zur Abscheidung ultradünner Kohlenstoffschichten

Thesis Note
Zwickau, FH, Dipl.-Arb., 2001
Author(s)
Enders, P.
Publishing Place
Zwickau
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
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