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Abschlussarbeit
Einsatz einer Netzhohlkatodenquelle zur Abscheidung ultradünner Kohlenstoffschichten
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2001
Diploma Thesis
Title
Einsatz einer Netzhohlkatodenquelle zur Abscheidung ultradünner Kohlenstoffschichten
Thesis Note
Zwickau, FH, Dipl.-Arb., 2001
Author(s)
Enders, P.
Publishing Place
Zwickau
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST