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2007
Conference Paper
Title
Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Abstract
Zur Unterstützung der Industrie beim Aufbau von Fertigungsanlagen für kontaminationsempfindliche Mikrosysteme werden reinheitsgerechte Grund- und Aufbaumaterialien benötigt. Weltweit stehen keine Werkstofflisten zur Verfügung, so dass bei der Auswahl geeigneter Materialien rein auf optische und nicht wissenschaftlich abgesicherte Kriterien, angewiesen sind. Dem soll durch ein standardisiertes Prüfverfahren zur Beurteilung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen entgegengetreten werden.