1988
Conference Paper
Title

Channeling of Si during implantation into GaAs for MESFETs

Other Title
Channeling von Si bei der Implantation in GaAs für die Herstellung von MESFETs
Author(s)
Maier, M.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Bachem, K.H.
Hornung, J.
Mainwork
Conference
Language
English
Keyword(s)